真空装置的组成 诸多的真空装置就组成而言,基本上包括真空容器(真空室)、真空抽气机组、真空 测量及装置的控制系统等。其目的就是保证真空装置在真空条件下完成各种生产工艺 过程 1.4.1真空容器(真空室) 真空容器是各类真空装置的重要部件之一。它的形式、种类要根据不同真空装置的要求 来确定,绝大多数的真空装置、真空容器为圆筒形;其次是方形(正方形、长方形),还有 球形结构等 尽管不同的真空容器,其制造工艺不同,但构成真空容器的部件都是相同的,即由筒 体、封头、门、法兰、观察窗及连接真空抽气机组的管道等组成。简体的壁厚应按内压容器 1.4真空袋置的组度壁厚计算公式成按内压容器国家标准来确定,并配备保证容器强度的加强筋及支真空容器的底座或支架 1.4.2真空泵 真空泵是真空装置获得直空的重要部件,它是产生、改善和维持直空的装置,基本上分为气体传输泵和气体抽集泵两种类型,前者包括容积真空泵和动量传输泵等,容积真空泵利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气,气体在排气前被压缩,这类泵有往复式(如卧式、立式往复泵)、旋转式(如水环泵、旋片泵、滑阀泵)两种;动量传输泵利用高速旋转的叶片或射流把动量传输给气体分子,使气体连续不断地从入口传输到出 口,这类泵有:牵引分子泵、涡轮分子泵、蒸气喷射真空泵、扩散真空泵等,气体捕集泵是利用气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵,这类泵包括:吸附泵、吸气剂泵、升华泵、蒸发离子泵、喷射离子泵、低温泵、溅射离子泵等,其中溅射离子泵已有国家标准 1.4.3抽气机组 真空抽气机组同样是真空装置的重要组件之一。
选择何种真空抽气机组要按照不同的真空装置性能要求,经过理论计算或参照同类真空装置中真空抽气机组而定 真空抽气机组可分为:极高真空、超高真空、高真空、低真空等抽气机组。有些真空机组,例如:罗茨真空泵机组已有行业标准(JB/T6921-2004)。该标准规定了机组的形式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则等。然而,对于大多数的真空抽气机组,如扩散泵高真空机组、水蒸气喷射泵低真空机组、涡轮分子泵或低温泵超高真空机组等都按真空装置的要求,由企业选配(即非标准)。一般的真空装置选择套真空机组或两套真空机组;但在大型的真空装置生产线上,需要数套真空机组才能满足生产需要 不论何类形式的真空抽气机组,都由主抽泵、真空阀门、预抽真空泵及真空管道所组成。有的还根据需要配备除尘器(低真空系统)、冷阱障板、储气罐(扩散泵、扩射喷射泵)等 真空测量包括真空计和真空规管,是真空装置重要组成之一。真空计是测量低于 个大气压的气体或蒸气压力的仪器。规管(规头)是真空计的一个部件,它含有压力 感元件并直接与真空系统连接。此外,真空计控制单元,包括某些种类真空计的控制 元、电源及真空计的工作需要的全部电路。这三者为一体构成了真空装置进行真空测 的完整组件。 真空计的种类很多,一般分类:压差式真空计、绝对真空计、相对真空计、全压真 计、分压真空计等。所谓压差式真空计是指测量同时存在于一个敏感元件、两侧面上压力 差。绝对真空计是通过测定物理量本身来确定压力的一种真空计。例如:压缩式真空计 性元件真空计。相对真空计则是通过测量与压力有关的物理量并与绝对真空计比较来确定 力的一种真空计,例如:热传导真空计、电离真空计(包括:冷阴极、热阴极、BA型 制型、抑制型电离真空计)。全压真空计可测量混合气体全压力;而分压真空计则是测量 合气体组分压压力的质谱仪式的真空计 目前,从大气压到10-Pa范围内真空度测量的理论问题和技术问题都已经解决, 以满足我国各类真空装置的真空度测量问题。例如:1985年我国航天物理所用液氮冷 钛升华即与分子沉技术在400mm×500mm真空室选用调制 获得2.4×10-1Pa极商真空度,标志着我国极高真空装置的技术达到国际先进的技术 水平
