真空装置的特点 由于各种真空装置都是在真空条件下工作的,因此,如何使真空装置能满足在真空环境 下的工艺试验、生产要求,就需要了解真空装置的真空特性 ①真空装置要保证其真空容器内的真空度,必须要配备真空泵(或真空抽气机组)对 真空装置中的真空容器抽气,以满足该装置的深圳真空度要求。 ②真空装置的工作压力是真空装置进行工艺生产的关键性指标。所选配的真空抽气 机组必须满足该装置在进行工艺生产时,所需要的工作压力。该装置在工艺过程中,真 空容器的气体负荷是主要的。真空室的工作压力一般高于其极限压力。工作压力选择得 愈接近极根压力,真空抽气设备的经济效率愈低。从经济方面考虑,最好在主泵的最大 抽速或最大排气量附近选择工作压力。一般工作压力多半选择在高于极限压力半个到个数量级为宜。 ③要保证真空装置的气密性,使其真空容器的压力保持稳定。在设计真空装置时,要对该装置的静态漏率或升压率提出技术要求 ④真空装置的结构材料(包括真空室的配件)必须满足真空设备所需材料温度、刚度 里1照 等机械性能要求,对于大型圆形容器的壁厚按外压容器的计算公式进行计算,或按现行的国 家有关标准选定,对于大型的矩形威长方形容器,要配置足够数量的经过核算后的横竖加强 ③设计真空装置时,要考虑真空室(容器)对各种气体的适应性,尤其是高真空状态 肋,以确保在真空条件下,容器不变形 下,要注意水蒸气、各种腐蚀性气体对真空室内壁的腐蚀性问题,一般选择不锈钢材料或复 ①要配置适合于该真空装置测量真空度要求的真空计,真空计的种类很多,它们的工 合材料 作原理、结构特点、测量范国都有所不同,要根据真空装置的特点配置一台或多台真空计 以满足真空室或真空抽气机组测量其该位置真空度的要求,高真空或超高真空装置在工业生产流程上最好配置金属型电阻规、冷规 ⑦真空装置要求操作、维修方便。要能实现机电一体化,有装置的控制流程图,对该设备的整个流程能随时监控 此外,对加热、冷却、电极引人、外部的机械引入部件、内部的传动部件等,在操作时必须要保证其精度、强度、耐热度、稳定性 ③对真空装置中生产的制品、试件在生产工艺传送的过程中,必须运转平稳,不得有停滞现象发生 ⑨在操作过程中,由于压力的上升而引起气体的变化,必须能够调整 对真空装置外涉及的温度、电流、电压要测量正确,安装位置要便于观察 ①对真空装置的整体操作、设计要合理,自动化程度要高。发现故障能及时排除。整体操作可以手动、自控等形式进行。 ①真空装置所涉及的各系统零部件要按有关标准进行设计。提高产品的标准化、通用化、系列化水平,最大程度地降低制造成本,提高装置的生产效率
