涡轮分子泵维修，随着工业领域的不断发展，高真空、无油真空环境的需求也不断的提高，这也对现有的真空系统提出了新的要求，这便对传统长期使用的扩散泵等类型泵浦的抽气系统有着很大的挑战，甚至于淘汰不适应这种高规格的工业环境中使用。因此便有了分子的诞生与研究。经过多年的不断发展，分子泵设计与实际应用也有较大的突破，尤其在结构上突破很大，例如涡轮分子泵便是目前应用较为广泛的一款高真空泵浦。

   涡轮分子泵的配合组成部分主要有动、静相间的叶轮组成。在叶轮的设计上采用一定倾斜角度设计，倾角方面采用动片与静片方向相反的配合设计。动叶片在主轴的带动下，间于静叶片之间高速旋转，气体分子的定向运动，就是因为高速旋转的动叶片传动的动能传递导致的，这样反复的运转便产生了涡旋分子泵抽气的过程。

    由于涡轮转子叶片大大增加了抽气面积，放宽了工作间隙，压缩比和抽速有显著的提高，克服了牵引分子泵抽速低的缺点，使分子泵进入了快速发展的时代。于是继Becker之后，60年代Ch " H " Kruger、Shapiro等人又研制成功了立式涡轮分子泵，并加以逐步完善。他们又以分子动力学的理论进一步分析了涡轮分子泵的机理，并对气体分子的传输几率进行了计算，得出了有价值的数据，为涡轮分子泵的理论分析和计算奠定了基础。

2.涡轮分子泵的抽气原理与结构
(1).涡轮分子泵的抽气原理
    分子泵输送气体应满足二个必要条件:1).涡轮分子泵必须在分子流状态下工作.因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有0.06 pm，即平均看一个气体分子只要在空间运动0.06 pm，就可能与第二个气体分子相碰。而在，.3Pa时，分子间平均自由程可达4.4mm。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时，气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。2).分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。