电源和控制系统 离子束刻蚀机的电源和控制系统包括离子源电源、工件台电源、工件台步进电动机驱动 器(用于平移工件台)和力矩电动机驱动电源(用于旋转工件台)、快门时间控制器及主机 电控部分。 ①离子源电源离子源电源由阴极、阳极、屏栅极、加速极和中和器等五部分组成 其技术指标见表1-3 当前,阴极电源是通过运算放大器XFC75调节,釆样屏栅极电流进行负反馈控制。阳 极电源则通过运算放大器XFC75调节,采样自身电流进行负反馈控制;屏栅极和加速极电 源均采用减速电动机调控、高压二极管整流、阻容π型滤波输出。 中和器电源由中和与耦合两台电源组成。中和电源通过运算放大器MCl458调节,采 样耦合电流控制。耦合电源系三极管整流,π型滤波输出。它的输出负端接于中和器阴极输 出端,正端接地 快门时间控翻器千电两用四H联动的单时月结构快门用aLsK2m3、LsK3 F到鼓设备1国快门电线圆由固定的30V电国驱动,快门动作方向由隐电 器)和Jm触点行切换面没变,由于快门的开关动作要在几秒钟之内完成,加上电 线的安阻数大,导线,为不使线圈发热,电磁铁的俱电电路设计了5s延时通电 电,在保证快门动作完成后,将电线圈断电,这个电路由BG3、J、BCa、J等元 件组成,快门时间控制四分手控和计算机控制的束控两种控制方式,手控时将通过计 n机以及由差动式比较器BC07连接成的窗口鉴别器送出的信号电压控制BG1和B ③主机电控系统离子束刻蚀的主机电控系貌由控制变压器,压力继电器,热继电器 的基级控制快门的开和关 半导体时间继电器、中间继电器、交流接触器、螺旋式焰断器、讯响器、开关、插座、信号 灯等组成,位于主机机柜中,保证机械泵、扩散泵、电磁带放气真空阀、插板阀、三通阀 ①算机控制系统实现工作一深度加权刻蚀的离子束刻蚀设备,要用计算机控制 复合直空计及供水系统正常工作 系统,深度加权的刻蚀深度按照预先给定的曲线分布进行,由于离子束的强度是恒定的,离 子的位置也是固定的,而工件台相对于离子源作一维平移,所以控制工件的刻蚀深度即转 计算机TRS80先按给定的数据模型计算出对应于工件每个位置所需的刻蚀时间,并存 化为控制工件在各个不同位置的刻蚀时间 入内存;然后控制步进电动机使工件台作一维方向的平移,每移动一定的距离,停留某一预 在刻蚀过程中,用计算机控制,主要实现以下几个功能:n.控制刻蚀时间;b.控制工 定时间 件台平移;c控快门开、关;d.巡检束流。即当配电系统的各种故障引起束流不正常时, 希望保留现场,计算机处于暂停状态,待故障排除后继续进行刻蚀:c.控制步进电动机能正、反转进行双向刻蚀 ⑤工件台电源系统工件台电源是两台可调稳压电源。调控板使用同一块印刷电路板 它通过一个双联乒乓开关转换,供给多轴工作台或三维工作台使用。三维工作台的电源电压 可高达30V,功率大。多轴工作台有停转现象发生时,可瞬时转换给三维工作台电源进行冲 击,促使其电机转动,三维工作台有停转现象时,可再调高其电源电压,促使转动。工作台电源若有故障,电动机不转时,有报警音响报警。 化整机控制系统离子束刻蚀设备整机自动化是设备发展的方向LSK3型机实现
