抽气时间 将真空系统的压力降低到一定压力(例如降到基础压力)所需要的时间,称之为抽气 间。抽气时间在真空装置的真空系统中由于它直接关联到极限压力、工作压力性能的好坏问 题,因此,不论是任何真空装置在设计、研制的过程中,都把抽气时间作为装置的主要性能 指标提出来,以此作为验收真空装置主要技术性能之 真空系统的抽气时间计算包括粗、低抽气时间和高真空抽气时间的计算两部分 (1)粗真空、低真空下抽气时间计算 在粗真空、低真空下,真空设备本身内表面的出气量与设P 管道Sp 备总的气体负荷相比,可以忽略不计。因而,在粗真空、低真 空情况下计算抽气时间时一般不需要考虑出气的影响。 ○ 真空室 图3-5真空系统原理图 简单的抽气系统原理图如图3-5所示。它由真空室、管道 1真空泵三部分组成。S为泵的有效抽速;S。为泵的名义抽 ;p为真空室某一时刻的压力;p。为真空室的极限压力;U为管道流导 ①泵的抽速近似常量时的抽气时间计算 a.若漏气量很小以至可以忽略时,真空设备从压力p降到p所需要的抽气时间t如 当流导很大(U》Sp)时,则S≈Sp,此时 V p g 南国浪子: b.在纵坐标上找到泵抽速S=2L/s的一点。由该点引一与横坐标平行的线今=3 10-1的曲线交于一点,由该点作垂线,交于线于一点,即得5L C.容积为50L,所需的抽气时间为t=5s/L×50L=250s。 南国浪子: 则 (4+) h.若漏气量Q很大以至不忽略时,真空室所达到的极限压力pa=Q。/S、直空0 备从压力D到p所需要的抽气时间如下 当流导很大(U>51)时,则S≈S。,此时 流导为U时, 则 式中(—抽气时间 真空设备容积 泵的名义抽速 泵的有效抽 始抽气时压力,P P真空室的极限压力,Pa U—管道的流导,L/s; Q。空载时,长期抽气后真空室的气体负荷(由漏气、材料表面出气形成的) 计算 c抽速S近似于常数,管道U是变量时的抽气时间计算(适合于黏滞流时的粗略 先把真空设备工作压力范围划分为几个区域,按每个区的平均压力计算流导 计算抽气时间 }按下式 vlI 抽气时间 S V 义抽速 设备容积 开始抽气时的压力,Pa; pn+1—经1时间的抽气时的压力,Pa; p1与P2压力区域 其余类推,L/s; 间的计算流 为P2与 p2,P3,…,P。所分的压力区域各点压力,Pa 的计算流导 利用图36给出的一簇曲线,可以计算黏滞流状态下的抽气时间。图3-6的横坐标表示 将容积1L的容器由大气压下降到10Pa时所需的进间,纵坐标表示泵的抽速 例如,机械泵的抽速为2L/s,管道直径为3cm,长250cm,真空设备的容积为50L, 计算设备从10Pa降到10Pa时所需要的抽气时间 3X
