半导体常用的爪式真空泵有什么特点？螺杆气泵维修，螺杆空压机维修。爪式泵是为半导体工业发展而研制的,它有如下一些特点 (1)泵腔内无润滑剂,因而无返油现象发生  (2)抽气元件为非接触式的,可实现高速运转(3000r/min)  (3)与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损  (4)在泵腔内气流垂直运动,少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除  (5)该泵形式多样,功能可以  包  扩展,泵的主体,带有齿轮、马达  以及气体净化设备,附件有入口处  防返流的阀门,出口处有截流阀 电气监控及报警装置  (6)齿轮和泵轴的下轴承用FFE  油润滑、上端盖内的轴承用PPE油 脂润滑  (7)第二、第三、第四级均有净  化气体入口,以改善被抽介质顺利  通过泵腔,无此需要的可以不用通  净化气体,净化气体用3个流量计分  别调节,相互都是独立的,以保证  节约情性气体,利用3个电磁阀可微 调其流量;  (8)人口防返流阀能将被抽容  器与泵腔隔断,出口处截流阀能将  泵的出口封闭起来,将泵通以净化  气体,这些阀可自动开关,真空系  统有可靠的保护,杜绝了向真空室  图7-80爪式泵附件图 的返流,泵的各种附件如图7-80  1—遥控器;2一供电装置;3一外罩;4防返流阀  5一出口截流阀;6—泵主体;7一底座

所示  (9)电气监控与操作,主要有  电源,远距离操作和开关阀等的控制  当泵出现故障时泵能自动停止,两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压  器和整流器,以提供所需的电流电压,以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达  的接通与断开及马达超负荷的保护。操作过程有显示器,有按钮控制,可控制马达、防返流阀  的控制阀和截流阀的控制阀,第二、第三、第四级的净化气体的通断阀,惰性气体的主阀,净  化气体向轴封处通气用的阀门等。故障的监控报警或停止,系统安全自动控制,也可按钮操  作。启动时,打开净化气体,泵正常运行3mn,净化气体向各段通入,通净化气体对泵性能有些影响。每当遇到紧急情况时可按停止键,净化气体继续接通,关闭入口防返流阀,各级泵  净化1min,净化结束,马达再停止,关闭惰性气体截止阀。