真空泵系统的极限压力(极限真空)是该装置真空室的主要参数,山于真空装置的种类繁 故对极限压力的叫法亦有不同,如:真空退火炉称极限压力为“冷态真空度”,真空检 国仪称“本底真空度”,有的空间模拟设备称“空载极限真空度”等。正因为真空科技工作 者及非真空企业或公司对极限压力的含义了解得不够全面,因而在对真空装置研制过程中成 使用过程中带来不少麻烦,甚至有的企业因不懂真空装置抽气系统对极限压力的概念造成选 何谓极限压力?从真空系统及有关术语中可知极限压力的定义是:泵在工作时,空载干 购的真空装置不能使用 燥的真空容器逐渐接近稳定的最低压力,进而可得:真空泵 指的是真空系统的主泵,空载干燥的 真空容器(即真空室)内不放有工作状态的元器件,而且真空容器内的环境是干燥的空气或 气体,它是在主泵经过相当时间的抽气而使真空容器逐渐接近的稳定的最低压力值。
显然易 见,真空系统所达到的极限压力是不受时间限制的,真空装置的极限压力越低,标志着该装 置的真空系统设计是合理的,主泵的选择比较理想,是衡量真空装置技术水平是否先进的条 件之一。在真空科技界,在某些情况下残余压力等于极根压力。而残余压力则是经过一定时 间的抽气之后或真空过程结束后还有在于真空容器中的气体或气体混合物的气压。这是真空 科学工作者在全面理解极限压力概念和残余压力时应注意的问题 真空室的极限压力由下式决定 (3-1)式中P真空室所能达到的极限压力,Pa; 真空泵的极限压力,Pa; Q。—空载时,长期抽气后真空室的气体负荷(包括漏气、材料表面出气等),Pa·L/s S。—真空室抽气口附近泵的有效抽速,L/s 真空室的极限压力通常总是低于真空抽气机组的极限压力。两者之差取决于Q。/Sp 在抽气口附近泵有效抽速一定的条件下,真空室的极限压力正比于真空室的漏气和出气。 如果真空室采用金属焊接结构形成,根据我国现有的氨弧焊工艺水平,单位长度焊缝漏 率,一般取焊缝漏率为1.3×10-Pa·L/(s·cm),此外,还应该考虑真空室各密封圈渗漏 出气主要指真空室材料表面的出气量,由真空室内表面积和不同材料在常温下的出气速 所引起的总漏率 设计真空系统时,漏气量主要由真空室的极限真空和工作压力来确定,一般选取低于 率[Pa·L/(s·cm)]来决定 状态下气体负荷(工艺生产中放出的气体量)的十分之 表3-1给出了各种真空装置允许的漏气量值。
