气体种类对真空测量的影响 (1)气体种类对测量读数的影响。 对于弹性元件真空计和电容薄膜真空计等直接测量真空计,其测量结果为气体和蒸汽的全 压力,且与气体种类无关。而对于热传导真空计和电离真空计等间接测量真空计,其测量结果 与气体种类及组分有关,因此对其读数需要考虑加以修正。 如果被测气体是氮气、惰性气体或较为纯净的空气,那还比较简单,因为普通真空计出厂 前都是以此为基准标定的,实际测量的读数值就是其真实压力值。但在许多情况下,被测气体 往往是空气、特殊的工艺放气、水蒸气、油蒸气等多种气体和蒸汽的不同组合,从而会影响相 对真空计的测量结果。因此,通常引入相对灵敏度S的概念,针对不同气体加以修正。 对于热传导真空计,某种被测气体的真实压力与真空计读数压力间的关系按式(1014)计算, 其中热传导真空计的相对灵敏度S对于各种气体的取值见表103。对于电离真空计,则应按式 (10-18)计算,其中电离真空计的相对灵敏度S对于各种气体的取值见表104。 (2)气体种类对真空规的影响。 被测气体中的各种蒸气,还会对真空规造成影响,其中尤以氧气、水蒸气、油蒸气等组分 对真空计的影响严重。采用电阻真空计测量时,氧气和水蒸气会氧化规管热丝,改变热丝的表 面状态;油蒸气附在规管的热丝和管壁上,会改变表面性能,因此都将引起规管零点漂移和灵 敏度的改变,导致读数不准。采用高压力热阴极电离真空计测量时,氧气和水蒸气会明显损耗 规管的热阴极:油蒸气在高温阴极表面或电子轰击下分解生成的碳氢化合物,会污染电极和规 管壁,使规管灵敏度和特性发生明显的变化因此在粗低真空区,测氧气、蒸气或赛气 的压力,通常采用电容式薄膜真空计
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