超高真空气体成分分析及分压力测量对真空质谐计的要求 超高真空分压力测量是通过真空质谱计实现的。为了满足超高真空气体成分分 析及分压力测量要求,对常用的真空质谱计的选择、安装及使用提出如下特 ①为了在超高真空或极高真空条件下,能够检测到微量的气体组分,选用的 真空质谱计必须具有足够高的检测灵敏度,质谱计的最小可检分压力技术指标应小 于10-10Pa,为了提高检测灵敏度,通常选用带倍增器离子收集的质谱计;质谱计 的质量范围在1~100或1~50u就够了。在1~4u轻质量范围内,仪器应具有较 好的轻质量测量特性 ②质谱计的离子源最好选用开式离子源并便于电子轰击出气,以减小“记忆 效应”。 ③离子源的灯丝应尽量选用低温灯丝,并在低发射电子流模式下工作,以减 小灯丝对分子的热分解、电清除及化学清除效应 ④质谱计探头和系统的连接管道的流导应足够大,最好选用裸规安装形式实 现原位置测量 ⑤质谱计探头应能承受400℃温度的烘烤,尤其应注意电子倍增器允许的烘烤 温度,通常静电式分离打拿极电子倍增器允许的烘烤温度要更高一些。 ⑥质谱计探头体积小、重量轻,便于在超高真空系统上安装 ⑦质谱峰的离子流强和图形系数应对系统中气体量之间具有一定的定量关系 ⑧具有一定的分辨本领和良好的峰形、一致的峰宽,便于定量测量计算机数 据处理。 ⑨在分压力测量时,离子源工作参数的电子加速能量应选用标准值,从而可 以采用标准离子谱进行定量测量 用于空间环境检测的空间质谱计除了满足上述要求外,还应满足体积小、功耗 低、承受力学试验和其他特殊条件的要求。
下载地址：
