低温泵长期运转达到饱和容量时,抽速急剧下降,这时就需要停泵升温,使吸 附在低温板上的气体释放出来,恢复原来的抽气性能。升温并用预抽泵抽除释放出 冷凝吸附的气体称为“再生”.再生方式有两种,全部再生(20K和7K低温板升至室温,释放出低温板吸附的全部气体)和部分再生(仅放出77K低温板吸附的气体) 全部再生法有下面几种方式。 ①自然升温法:关掉制冷机电源,利用泵壁的热量使低温泵缓慢升温。开始时升温很慢,当泵内压力升到对流换热起作用时,升温速率加快,最后达到稳定的升温值。 ②放气升温法:停掉制冷机后,打开放气阀放入清洁干燥的空气使低温泵低温板快速升温 ③电加热法:低温泵中的一、二级低温板上加装电加热器,再生时通电加热使低温板快速升温,缩短再生时间 自然升温法适用于完成一个工艺生产周期需要停掉低温泵的场所。在运转期间 抽除的气体量很少,并没有达到泵的饱和容量。关掉制冷机后让其自然升温,再生所释放出的全部气体,在低温泵内所形成的气体压力仍然在安全压力下,一次再生需要5~6h 在一个工艺生产周期内,每次达到泵的饱和容量时要求快速再生的工艺流程作业场所,可采用放气升温法和电加热法再生方式 部分再生和全部再生的不同之处是部分再生是将77K低温板的升温温度控制 在140K以下,而不是室温。该温度下水的饱和蒸气压低于106Pa,冷凝在一级 被再生排除,这样就大大缩短了再生时间。部分再生时间一般只需要40~60min而全部再生要长达5~6h(自然升温法) 但是,部分再生若干次(20-25次)以后,还需要全部再生一次,用以彻底 清除20K低温板捕集的所有气体 再生低温泵要特别注意安全问题,低温泵再生释放出来的气体如果不及时抽 除、容器内压力很高,有可能引起爆炸,破坏泵体或真空计玻璃管壳壳体,如果低 温泵运转时间很短,抽除气量很少,停泵再生时可以不用预抽泵抽气,等下次启动 低温泵时再预抽释放出的气体,如果抽气时间很长或抽除气量很大,已达到饱和抽 气容量,再生时必须启动预抽泵抽除释放气体 (7)翻冷机低温泵的安全 制冷机低温泵的安全需要用户特别加以重视。特别是用于抽出了大量的H2Ne、Hc气体,停泵再生升温到某一温度时,水久性气体的解吸速度很快(潜热和显热值很小),数分钟之内便可使泵体内压力急剧增高,一旦泵内压力超过泵体钢材所能承受的机械强度,轻则造成泵体变形,严重时会造成爆炸。厂家生产的制冷 机低温泵的泵体上,一般都装有安全阀,当泵体内压力超过安全压力时,会自动打开安全阀将气体排放到大气中 使用制冷机低温泵,有三点需要用户认真考虑; ①务必经常对安全阀进行性能检查,防止由于阀门失效而造成安全事故 ②务必不要使用这种低温泵抽除H2、O2组合的危险混合气体,以及SiH4这 样的自燃性气体和不混合的SiH4、O2气体 ③抽除像氘、氚这样的放射性气体和其他危险性气体时,不能直接将再生的 气体排放到大气中,务必配备十分安全的气体回收装置,并对这些危险气体进行 处理。
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