直空装置的工作压力(工作真空度)同样是该装置真空室的主要参数,何谓工作压力? 3.1.2工作压 从真空系及有关术语中可知是在真空室中为实施工艺所必需的工作压力,真空室正常工作 所需的工作压力由下式决定 真空室工作压力,P Q 过程中真空室的气体负荷 真空室所能达到的极限真空 Q。空载时,长期抽气后真空室的气体负荷(包括漏气、材料表面出气等),Pa·L/s P 真空泵的极限真空,Pa S,—真空室抽气口附近泵的有效抽速 备室的工作压力一般高于其极限真空。工作压力选择得愈接近极限真空,真空抽气设 真 济效率愈低,从经济方面考虑,最好在主泵的最大抽速或最大排气量附近选择工作压 力。一般工作压力多半选择在高于极限压力半个到一个数量级。 需要注意的是:工作压力的确定要考虑抽气时间的问题。即在多长时间真空室的工作压 力才能达到,如果真空装置的真空系统经过相当长的时间,远远超出工作压力预期规定的时间,这就意味着该真空装置的技术性能较差,它的经济效率较低。而极限压力则是不受抽气时间限制的。它是真空装置在没有工艺生产过程真空室气体负荷的情况下,经过相当时间的 抽气后,真空室所能达到的稳定的压力。极限压力超高,就意味着真空装置的真空抽气系统 设计是合理的,技术性能是先进的,真空室的制造工艺水平是较高的。工作压力与极限压力 二者既有密切联系,又有概念上使用上的区别。对于非真空专业的技术人员或真空装置的管 理者来讲,在设计或鉴定真空装置时,一定要将这两项技术指标搞清楚、搞明确,以免上当 受骗。如某些企业曾委托某些真空企业研制一台真空烧结炉,只提到极限压力(极限真空), 没有提工作压力,没有说明在生产工艺中是在高温下,先脱蜡后烧结的基本要求。为此,某 真空制造企业仅按极限真空配真空抽气极组,没有考虑在生产工艺过程中有大量的气体负 存在,结果虽然装置极限压力达到了,但在使用该装置时,却因工作压力很低,高温下、工 件含有大量的石蜡由液态变为蒸气而污染了真空室内壁和真空管道,造成真空烧结炉不能使 用,迫使该装置重新配置真空系统,类似这种情况的现象常有发生,不胜枚举 在工业上,真空装置所需的各种真空泵的工作压力范围,见表32,工业常用真空泵最 佳工作压力的范围见表3-3所示。
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