扩散泵的临界前级压力是指扩散泵排气口允许的最高前级压力。高于临界前级 压力时,返流反扩散增加,泵的抽速降低,达到最大前级压力时,会完全破坏泵的 正常工作。扩散泵的临界前级压力一般在26~40Pa,最大达到100Pa。扩散泵的 前级压力与极限压力的关系曲线,如图2-14所示。图中黑实线是近代扩散泵前级 压力特性,虚线是老式扩散泵的前级压力曲线。图2-15所示为不同成分气体对泵 的前级压力影响曲线。前级压力很低时,对泵的进口压力影响不大,接近极限前级 压力时,曲线出现拐点,拐点区域很窄。一般将入口压力增大20%时的前级压力 作为泵的极限前级压力。超过最大前级压力时,曲线的斜率急剧增大,最后几乎接 近垂线,此时扩散泵完全丧失抽气能力。所以,选择前级机械泵时,一定要保证机 械泵有足够大的抽速,满足扩散泵在最大工作压力条件下,前级真空泵能够将扩散 泵排除的最大气量及时抽走。配置的前级泵的有效抽速必须满足下式 式中S4—前级级泵在扩散泵临界前级压力pn下的有效抽速,L/s 扩散泵的临界前级压力 扩散泵的最大工作压力,Pa; 扩散泵的最大排气量,Pa·L/s; S扩散泵在最大工作压力pg时的抽速,L 公式中前级泵的有效抽速是指前级泵与抽气管道串联后,在扩散泵排气口截面 处的抽速。前级泵采用机械泵时,设机械泵在压力P时的实际抽速为S,它与流 导为U的前级管道串联后的有效抽速为S,则要求机械泵的实际抽速应满足公式 (2-15) SqU 生产厂家给出的机械泵名义抽速S是在高压端(102~105)的抽速值,图 2-16所示为国产2X型旋片式机械真空泵的抽速曲线。若没有泵的抽速实测曲线, 可用经验公式给出机械泵的名义抽速Sq的修正系数值 (2-16) 终合上述各式得(1.5~3)S、DnU公式中前级泵的有效抽速是指前级泵与抽气管道串联后,在扩散泵排气口截面 处的抽速。前级泵采用机械泵时,设机械泵在压力P时的实际抽速为S,它与流 导为U的前级管道串联后的有效抽速为S,则要求机械泵的实际抽速应满足公式 (2-15) SqU 生产厂家给出的机械泵名义抽速S是在高压端(102~105)的抽速值,图 2-16所示为国产2X型旋片式机械真空泵的抽速曲线。若没有泵的抽速实测曲线, 可用经验公式给出机械泵的名义抽速Sq的修正系数值 (2-16) 终合上述各式得(1.5~3)S、DnU
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