将真空系统的压力降低到一定压力(例如降到基础压力)所需要的时间,称之为抽气时 间。抽气时间在真空装置的真空系统中由于它直接关联到极限压力、工作压力性能的好坏问 题,因此,不论是任何真空装置在设计、研制的过程中,都把抽气时问作为装置的主要性能 指标提出来,以此作为验收真空装置主要技术性能之一。 真空系统的抽气时间计算包括粗、低抽气时间和高真空抽气时间的计算两部分。 (1)粗真空、低真空下抽气时间计算 在粗真空、低真空下,真空设备本身内表面的出气量与设P 管道 备总的气体负荷相比,可以忽略不计。因而,在粗真空、低真 真空室 空情况下计算抽气时间时一般不需要考虑出气的影响。 图35真空系统原理图 简单的抽气系统原理图如图3-5所示。它由真空室、管道 和真空泵三部分组成。S为泵的有效抽速;Sp为泵的名义抽 速;p为真空室某一时刻的压力;p为真空室的极限压力;U为管道流导。 ①泵的抽速近似常量时的抽气时间计算 a,若漏气量很小以至可以忽略时,真空设备从压力p降到p所需要的抽气时间t如下。 当流导很大(U>Sp)时,则S≈Sp,此时 s.+,则 Q很大以至不忽略时 的极限压力P备从压力户降到P所需要的抽气时间如下 当流导很大(U>S,)时,则S≈S·此时 则 抽气时间 泵的名义抽速,L/s 一泵的有效抽速,1,/s, 设备开始抽气时压力 白极限压力 管道的流导,L Q—空载时,长期抽气后真空室的气体负荷(由漏气、材科表面出气形成的) 计算) c.抽速S近似于常数,管道U是变量时的抽气时间计算(适合于黏滞流时的粗略先把真空设备工作压力范围划分为几个区域,按每个区的平均压力计算流导,再按下式 计算抽气时间 泵的名义抽速 〔空设备容积 开始抽气时的压力,P Pn)一经时间的抽气时的压力,Pa U1-p1与P2压力区域间的计算流导,U2为p2与P3压力区域的计算流导 其余类推,L/s 一所分的压力区域各点压力,P 利用图36给出的一族曲线,可以计算黏滞流状态下的抽气时间。图36的横坐标表示 将容积1L的容器由大气压下降到10Pn时所需的进间,纵坐标表示泵的抽速 例如,机械泵的袖速为2L/s.管道直径为3cm,长250cm,真空设备的容积为50L 计算设备从10Pa降到10Pa时所需要的抽气时间
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