扩散泵的抽速受很多因素影响，除蒸气射流状态之外，还与泵口压力、被抽气体种类、 泵油种类、油锅内蒸气压力、温度、前级泵的抽气特性、泵内第一级喷嘴的结构几何尺寸 有关 ①抽气特性曲线油扩散泵的抽速与入口压力之间的关系曲线，一般称之为泵的抽气 特性曲线。如图4-101所示。从图中可以看到，泵的抽速在人口压力很宽的范围内保持不变 (见图中b段)。此时泵的抽速与入口压力无关。但是在较低或较高的入口压力下，泵的抽速 出现下降的趋势(见图中a段与c段)
当泵刚开始抽气时，入口压力较高，抽气量也很大。大量的气体分子进入到蒸气射流中 与气流分子碰撞，使蒸气射流的定向运动速度衰减，结果使蒸气流中的激波向喷嘴方向移 动，致使蓝气射流同泵壁脱离。这时，气体会从前级侧返流，使泵的抽速较低，接近于前组 当泵的入口压力在正常工作压力范围内时，泵从被抽容器中抽除的气体量较大，这时由于 泵的抽速。 反扩散，泵壁放气以及从油凝结物中释放的气体等反流的气体量与泵的抽气量相比可以忽略不 计，因而这时泵的抽速与入口压力无关，致使泵的抽速在入口压力很宽范围内保持不变 当泵在低入口压力范围内，随着压力的降低气体从前级通过蒸气射流的反扩散增加使抽 速下降。除此之外，在低人口压力下，由锅炉出来的蒸气流释放气体和泵壁放气也开始影响 泵的抽速。当蒸气凝结物回流时，被压缩的气体溶解于凝结物中一起回到锅炉内，并随着重 新发的蒸气流回到高真空喷嘴喷出释放。这部分气体在很大程度上影响了泵的极限压力， 并降低了泵的抽速。当反扩散回来的气体和蒸气流释放的气体及泵壁放出的气体总和等于被 抽走的气体时，抽速接近于零。 ②扩散泵对不同种类气体的抽速同一台扩散泵对不同种类气体的抽速是不同的。这 是由于这些气体要被抽除时，首先必须先通过气体分子扩散运动到达扩散泵的抽气口，不同 气体分子的平均速度不同，造成了泵的抽速差异，这种差异有时是很大的。图4-102给出了 扩散泵对几种气体的抽速曲线。从抽速曲线可以看出，对氮的抽速可平行延伸到很高的真空 度，对氢的抽速很大，这说明扩散泵对较轻的气体抽速较大，而对油的裂解物抽速却较小 因此要设法减小油的裂解物产生。通常扩散泵厂家产品说明书上所给出的抽速是指对空气或 N2的抽速。当真空装置选择经扩散泵为主泵时，需考虑被抽气体的种类。 ③扩散泵的最大出口压力扩散泵的最大出口压力即为泵的临界前级压力。也就是扩 散泵所许可的最高前级压力值，超过了此值就破坏正常工作。为此，在扩散泵的行业标准中 都规定了泵的临界前级压力值，一般为30~40Pa。 扩散泵的最大出口压力主要是由最后一级喷嘴工作状态决定的。它取决于蒸气射流的密 度、喷嘴的蒸气量和最后一级喷嘴的结构。图4103为 喷射式喷嘴结构示意图。从图中可知，它的形状是先渐 缩后渐扩，中间有个截面积最小的喉部。这种喷嘴通常 和一个扩压器相配合，来保证泵承受较高的出口压力 根据流体力学的原理，工作蒸气经过喷射喷嘴 后，在其出口处可以获得很高的速度(可达到超音图4-103喷射式喷嘴结构示意图 速),再根据能量守恒定律，流速快的地方则压力较1-油蒸气；2—喉部；3气体；4-扩压器 低，因而在出口处形成一个低压区。于是被抽气体由于压力较高将流向此处，并与蒸气射流 相混合，被带往泵的出口方向。紧接着喷射喷嘴的是一个扩压器，在扩压器里流动过程刚好 与喷射喷嘴相反，即在扩压器里，将混合后的气体的流速降低，压力提高，以便承受较高的 反压力。采用喷射喷嘴和扩压器后，不仅可以提高泵的最大许可出口压力，也可以提高泵在 中等压力的抽速，故扩散泵常以喷射喷嘴作为最后一级
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