(1)烘烤 这主要是射离子泵内钛沉积层吸附了大量水汽之故。为驱除水汽必须姚。抽速也小， 当溅射离子泵长期暴露大气时，不但会出现启动困难，而且极限压力也 烘烤时应将磁钢、各种引线、橡胶密封圈等拆下，缓缓升温，直至250~300℃,恒温 12h,烘烤时泵内真空度应不低于1×10-1Pa。烘烤完毕后，缓缓打开烘箱，装上磁钢。 )氩清洗处理 溅射离子泵沾污过油蒸气或其他有机物，阴极板氧化或大量排过氢气，则溅射离子泵真 空度会下降。一般可采用烘烤去气后再进行清洗处理。氩清洗是用氩离子轰击钛板，把阴 极板上的沾污物或溶解在阴极板里面的氢轰击出来。再被大量溅散的钛所吸收或埋葬掉。充氫 压力应维持在10-2Pa量级或观察离子流，大约在10~200mA之间摆动。氩清洗一般1-2h。 (3)工作寿命 由于溅射离子泵的溅散率取决于轰击的离子数和能量，因此压力愈高，阴极溅射愈剧 烈，故其使用寿命与工作压力成反比。为提高泵的使用寿命，尽量不要在10-1~10-2Pa压 力范围内工作。 (4)溅射离子泵的形式与基本参数(摘自JB/T4081-91) 本标准规定了普通形式的溅射离子泵的形式与基本参数。适用于二电位的二极型和三极 型菠射离子泵 本标准使用的术语应符合GB3163的规定。使用的符号、代号应符合JB/T7673-95。 ①形式 a.本标准把二电位普通形式的溅射离子泵分为二极型泵和三极型泵。 二极型泵的抽气单元由阳极筒和阴极板组成，阳极接数千伏正电位，阴极连同泵体 三极型泵的抽气单元由阳极、阴极和收集极组成。阳极和收集极连同泵体接地，阴极接 接地 数千伏负电位。 b.型号表示方法须符合JB/T7673—95真空泵型号编制方法。 ②基本参数 a.二极型溅射离子泵的基本参数应符合表4-52的规定。
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