真空系统设计安装时需要注意哪些地方，多年经验。一、工作真空度 正确地了解与确定一个设备所要求的真空度是很重要的， 它直接影响到真空系统的结构选择和对设备维修的要求。真空 系统一定要能够满足作业所要求的真空度。只要系统具有足够 的气密性，内部又没有经常放出气体或蒸气的气源，则这一要求 是可以满足的。当然也并不是真空度愈高愈好。否则会使设备 外形过分臃肿，成本增加。表6-1给出了通常真空作业所使用的 压强范围，可以参照。 、残余气体成分 某些真空作业，不但要求一定的真空度，而且还要求特定的 残余气体成分，如超高真空范围作业，常要求无碳氢化合物污 染，即系统要洁净无油才好。但也不应尽搞“全无油”,要从经 济方面考虑。往往用现有系统加以改造，就可以又快又省地满 足作业的要求了。 空 残余气体成分 某些真空作业，不但要求一定的真空度，而且还要求特定的 残余气体成分，如超高真空范围作业，常要求无碳氢化合物污 染，即系统要洁净无油才好。但也不应尽搞“全无油”,要从经 济方面考虑。往往用现有系统加以改造，就可以又快又省地满 足作业的要求了。 三、工作压强下的有效抽速 这要根据气体负荷确定。系统的结构、材料选择、清洁处 理和操作维护等都会大大影响气体负荷。第一章已介绍了一些 决定导管通导能力和对容器有效抽速的核算方法。假定系统通 导能力符合要求，那么要注意作业工、卡具和材料的预除气 以及严格的清洁处理，要尽可能降低气体负荷。并据此决定前 级泵大小，仔细核算通导能力。若气体负荷过大，则要考虑是 否加增压泵。有效抽速与泵抽速之比要根据泵的结构综合考虑， 一般机械泵在95%扩散泵在30~70%。 四、气体负荷成分及负荷变化 负荷成分不同，系统结构选择和泵的选择肯定不同。粗低 真空范围内，若含有腐蚀性的气体，有颗粒、泥沙、尘埃的气 体就不宜用机械泵和罗茨泵，应该用水环泵和喷射泵。用分子 泵抽气考虑到氧气存在，应当并联钛升华泵，这样才能使真空 度提高，并达到超高真空范围。 五、日循环数 每日进行装料 抽气—一作业 放气一一卸料的循环 次数，叫日循环数。这也是设计、改造系统结构，选择、核算 抽速所必须考虑的因素。必要时，泵用多室的结构为好。例如 圆排车上就常用十室泵作前级泵。0、)一空离 真空泵维修，
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